随着射频技术进入镀膜工艺之后,射频匹配也随之成为需要解决的问题。射频等离子电源的功率应尽可能的用于镀膜工艺中,系统的输入功率直接影响到等离子体的浓度和压力,也就直接影响了镀膜的质量,关系到工艺水平的好坏。在一定条件下,镀膜系统负载是随时间发生变化的,这使得阻抗的自动匹配变得更为必要。而国内现在都是以手动匹配为主,射频等离子电源自动阻抗匹配器的发展是一个瓶颈。

射频等离子电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，感应加热，医疗领域的消毒与理疗，等离子清洗等领域。

射频等离子电源市场形势分析

随着国内半导体行业、薄膜太阳能电池行业、平板显示行业和其他的金属工具真空镀膜行业的蓬勃发展，对射频电源、磁控溅射电源和离子源的需求不断增大，使用进口AE和ENI电源和其他国产品派电源也相应的暴露出许多的问题。比如说：进口电源虽然在品质、工作性能稳定性、对产品良品率上很有优势，但是诸如进口电源在价格上使一些企业增加了几十倍的设备采购成本，而后续的保养维修成本更高，保养比较难，需要专业的机构和人员才能进行保养维修，无形中给企业增加了成本，降低了企业的竞争力。而另一方面，其他国产电源在价格上虽然很具有优势，但是其他品牌的国产电源所应用的行业范围比较狭窄和单一，局限性很强，在加上产品性能的不稳定，工艺不完善等诸多不便，给企业的生产造成很大的影响，也不利于企业提高竞争力。